◎产品规格产品标准 本计画拟开发之超洁净球阀产品共有1/4“,3/8”,1月2日“三种尺寸。 该计划拟开发超纯度阀门的1/4“,3/8”,1/2“。 ◎技术指标技术指标 工作压力工作压力:≦10㎏/㎝2 耐久测试耐久性试验:≧5000次 泄露率Inborard泄漏率:≦1x10-9 atm.cc/sec 泄漏率泄漏内部率:≦1x10-9 atm.cc/sec 泄漏率舷外泄漏率:≦1x10-9 atm.cc/sec ◎性能需求性能需求 所开发之产品于上述指标环境下,其泄漏率须能符合SEMIF1规范之要求。 开发的产品的泄漏率必须达到上文circumstancesmentioned各项技术指标SEMIF1标准。 |